๋ณธ๋ฌธ ๋ฐ”๋กœ๊ฐ€๊ธฐ

์ „์ฒด ๊ธ€

(64)
[21.04.28] [๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ ๋ฐ์ด 2021] LG์—”์†” "์ฐจ์„ธ๋Œ€ '๋ฆฌํŠฌํ™ฉ·์ „๊ณ ์ฒด ๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ' 2025๋…„๋ถ€ํ„ฐ ์ถœ๊ฒฉ" ๊ฒฝ๋Ÿ‰ํ™” ๊ฐ•์  ๋ฆฌํŠฌํ™ฉ, ๋“œ๋ก ์— ์ ํ•ฉ ๋ฌด๊ฒŒ·๊ฐ€๊ฒฉ ๊ฒฝ์Ÿ๋ ฅ '์ „๊ธฐ์ฐจ'๋„ ๊ณ ๋ ค ์ „๊ณ ์ฒด, 2025๋…„~2027๋…„ ์ƒ์šฉํ™” ๋ฐœํ™” ์œ„ํ—˜ ์ค„๊ณ  ์—๋„ˆ์ง€ ๋ฐ€๋„ ๋†’์•„ LG์—๋„ˆ์ง€์†”๋ฃจ์…˜์ด ์˜ค๋Š” 2025๋…„๊ป˜ '๋ฆฌํŠฌํ™ฉ ๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ' '์ „๊ณ ์ฒด ๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ'๋ฅผ ์ƒ์šฉํ™”ํ•œ๋‹ค. ๋ฆฌํŠฌํ™ฉ ๋ฐ ์ „๊ณ ์ฒด ๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ๋Š” ์‹œ์žฅ ์ฃผ๋ ฅ์ธ ๋ฆฌํŠฌ์ด์˜จ ๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ๋ฅผ ๋Œ€์ฒดํ•  ์ฐจ์„ธ๋Œ€ ์ œํ’ˆ์œผ๋กœ ๊ผฝํžŒ๋‹ค. LG๊ฐ€ ์ฐจ์„ธ๋Œ€ ๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ ๊ฐœ๋ฐœ ๋กœ๋“œ๋งต๊ณผ ์ƒ์šฉํ™” ๊ณ„ํš์„ ๊ตฌ์ฒด์ ์œผ๋กœ ๊ณต๊ฐœํ•œ ๊ฒƒ์€ ์ด๋ฒˆ์ด ์ฒ˜์Œ์ด๋‹ค. ์ตœ์Šน๋ˆ LG์—๋„ˆ์ง€์†”๋ฃจ์…˜ ์ž๋™์ฐจ์ „์ง€๊ฐœ๋ฐœ์„ผํ„ฐ์žฅ์€ 28์ผ ์ „์ž์‹ ๋ฌธ์‚ฌ ์ฃผ์ตœ๋กœ ์—ด๋ฆฐ '๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ ๋ฐ์ด 2021' ๊ธฐ์กฐ์—ฐ์„ค์—์„œ 2025๋…„๋ถ€ํ„ฐ ๋ฆฌํŠฌํ™ฉ ๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ์™€ ์ „๊ณ ์ฒด ๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ๋ฅผ ์ƒ์šฉํ™”ํ•  ๊ณ„ํš์ด๋ผ๊ณ  ๋ฐํ˜”๋‹ค. ๋ฆฌํŠฌํ™ฉ ๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ๋Š” 2025๋…„, ์ „๊ณ ์ฒด ๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ๋Š” 2025๋…„๋ถ€ํ„ฐ 2027๋…„๊นŒ์ง€๋ฅผ ๊ฐ๊ฐ ์ƒ์šฉํ™” ๋ชฉํ‘œ ์‹œ์ ์œผ๋กœ ์ œ์‹œํ–ˆ๋‹ค. ๋ฆฌํŠฌ..
[21.04.17] ๋ฏธ๋ž˜ ์ž๋™์ฐจ ํ•ต์‹ฌ์€ ‘๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด’… 50์ธ์น˜ ๋ชจ๋‹ˆํ„ฐ ๋“ค์–ด๊ฐ„๋‹ค ์ž์œจ์ฃผํ–‰์‹œ๋Œ€๋กœ ํ•œ ๊ฑธ์Œ์”ฉ ๋‹ค๊ฐ€๊ฐ€๋ฉด์„œ ์ž๋™์ฐจ ๋‚ด๋ถ€ ๋””์ž์ธ ๋ณ€ํ™”๊ฐ€ ๋ˆˆ๊ธธ์„ ๋ˆ๋‹ค. ์ž๋™์ฐจ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋‹จ์ˆœํ™”ํ•˜๋Š” ๋Œ€์‹  ํ™”๋ คํ•จ์€ ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด๋กœ ์ถ”๊ตฌํ•˜๊ณ  ์žˆ์–ด์„œ๋‹ค. ์ž๋™์ฐจ ์•ˆ์—์„œ ์šด์ „์ž์˜ ์ „์œ ๋ฌผ์ด๋˜ ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด๊ฐ€ ํƒ‘์Šน์ž ๋ชจ๋‘๋ฅผ ์œ„ํ•œ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์ง„ํ™”ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ๋‹ค์–‘ํ•œ ์ฝ˜ํ…์ธ ๋ฅผ ํ‘œํ˜„ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์„ ๋„˜์–ด ์•ˆ์ „๊ณผ ํŽธ์˜๋ฅผ ๋†’์ด๋Š” ํ•ต์‹ฌ๊ธฐ์ˆ ์„ ๊ตฌํ˜„ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•œ ์ˆ˜๋‹จ์œผ๋กœ๊นŒ์ง€ ์ฃผ๋ชฉ๋ฐ›๋Š” ์ƒํ™ฉ. ๋‹ฌ๋ผ์ง„ ์ž๋™์ฐจ ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด์™€ ํ•จ๊ป˜ ๊ด€๋ จ๋œ ์ฒจ๋‹จ ๊ธฐ์ˆ ์˜ ํ˜„์ฃผ์†Œ๋ฅผ ์‚ดํŽด๋ดค๋‹ค. 50์ธ์น˜ ํ™”๋ฉด์€ ๊ธฐ๋ณธ… ๋‹ฌ๋ผ์ง„ ์ž๋™์ฐจ, ํ•ต์‹ฌ์€ ‘๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด’ ์šด์ „๋Œ€ ๋†“๊ณ  ๋„ทํ”Œ๋ฆญ์Šค ๋ณธ๋‹ค ์ตœ๊ทผ ์ถœ์‹œ๋˜๋Š” ์ž๋™์ฐจ์˜ ๊ณตํ†ต์ ์€ ์ธํ…Œ๋ฆฌ์–ด ๋””์ž์ธ์—์„œ ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด(ํ™”๋ฉด)๊ฐ€ ์ฐจ์ง€ํ•˜๋Š” ๋น„์ค‘์ด ์ปค์กŒ๋‹ค๋Š” ์ ์ด๋‹ค. ๊ณผ๊ฑฐ์—” ๋‚ด๋น„๊ฒŒ์ด์…˜์ด๋‚˜ ์ธํฌํ…Œ์ธ๋จผํŠธ์‹œ์Šคํ…œ ์ •๋ณดํ‘œ์‹œ์šฉ์— ๋ถˆ๊ณผํ–ˆ์ง€๋งŒ ํ˜„์žฌ๋Š” ๊ทธ ๊ธฐ๋Šฅ์ด ๋‹ค์–‘ํ•ด์กŒ๋‹ค. ์ž๋™์ฐจ..
[21.04.15] '์ €์ „๋ ฅ·๊ณ ์ฃผ์‚ฌ์œจ' OLED ์‹œ์žฅ ์ปค์ง„๋‹ค… ์‚ผ์„ฑ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด, ์• ํ”Œ·์˜คํฌ ๋“ฑ ๊ณต๊ธ‰ ํ™•๋Œ€ 2023๋…„ LTPO ๋ฐฉ์‹ OLED ํŒจ๋„์ด ๊ธฐ์กด LTPS ์•ž์ง€๋ฅผ ๋“ฏ ์ €์ „๋ ฅ๊ณผ ๊ณ ์ฃผ์‚ฌ์œจ ๊ตฌํ˜„์ด ์žฅ์ ์ธ LTPO(์ €์˜จํด๋ฆฌ์˜ฅ์‚ฌ์ด๋“œ) ๋ฐฉ์‹ OLED(์œ ๊ธฐ๋ฐœ๊ด‘๋‹ค์ด์˜ค๋“œ) ํŒจ๋„์ด ๋– ์˜ค๋ฅด๋ฉด์„œ ์‚ผ์„ฑ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด์˜ ํ–ฅํ›„ ์„ฑ์ ํ‘œ์—๋„ ํŒŒ๋ž€๋ถˆ์ด ์ผœ์กŒ๋‹ค. ์‚ผ์„ฑ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด๋Š” LTPO ๋ฐฉ์‹์„ ์ƒ์šฉํ™”ํ•˜๋ฉฐ ์•ž์„œ๊ฐ€๊ณ  ์žˆ๋Š”๋ฐ, ์• ํ”Œ '์•„์ดํฐ13' ๋“ฑ ์ฃผ์š” ์ œ์กฐ์‚ฌ ํ”„๋ฆฌ๋ฏธ์—„ ๋ผ์ธ์—…์— ํŒจ๋„ ๊ณต๊ธ‰์„ ํ™•๋Œ€ํ•˜๋Š” ๋“ฑ ์œ ๋ฆฌํ•œ ๊ณ ์ง€๋ฅผ ์ ํ–ˆ๋‹ค๋Š” ๋ถ„์„์ด๋‹ค. 15์ผ ๊ด€๋ จ ์—…๊ณ„์— ๋”ฐ๋ฅด๋ฉด ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด ์‹œ์žฅ์กฐ์‚ฌ์—…์ฒด DSCC๋Š” ์ตœ๊ทผ ๋ณด๊ณ ์„œ๋ฅผ ํ†ตํ•ด 2023๋…„์—๋Š” LTPO OLED ํŒจ๋„์ด LTPS(์ €์˜จํด๋ฆฌ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜) ํŒจ๋„์„ ์ œ์น˜๊ณ  ์ฃผ์š” ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด ๊ธฐ์ˆ ์ด ๋  ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์ „๋งํ–ˆ๋‹ค. ๋กœ์Šค ์˜ DSCC CEO๋Š” "์• ํ”Œ์ด ์˜ฌํ•ด LTPO OLED ํŒจ๋„์„ ์ฑ„ํƒํ•˜๋ฉด์„œ ํ–ฅํ›„ 2๋…„ ๋™์•ˆ ์ฃผ์š” ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด ..
[21.04.06] ์‚ผ์„ฑ vs ์ธํ…” vs TSMC ๊ฒฝ์Ÿ๋ ฅ ๋น„๊ตํ•ด๋ณด๋‹ˆ...๊ฒฐ๊ตญ `์ˆ˜์œจ`์—์„œ ๊ฐˆ๋ฆฐ๋‹ค 778์–ต๋‹ฌ๋Ÿฌ. ์ธํ…” ์ง€๋‚œํ•ด ๋งค์ถœ์ด๋‹ค. ์‚ผ์„ฑ์ „์ž(570์–ต๋‹ฌ๋Ÿฌ, ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋ถ€๋ฌธ), TSMC(442์–ต๋‹ฌ๋Ÿฌ)์™€ ๋น„๊ตํ•˜๋ฉด ์›”๋“ฑํžˆ ๋†’๋‹ค. ์ผ์‹œ์  ๋ถ€์นจ์ด ์žˆ๊ธฐ๋Š” ํ–ˆ์ง€๋งŒ 30๋…„ ๋™์•ˆ ์ธํ…”์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์—…๊ณ„ ๋ถ€๋™์˜ 1์œ„์˜€๋‹ค. ๊ทธ๋Ÿฐ ์ธํ…”์ด ์™œ ํŒŒ์šด๋“œ๋ฆฌ ์‹œ์žฅ์— ๋›ฐ์–ด๋“ค์—ˆ์„๊นŒ. ์ธํ…”์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‹œ์žฅ ์ „๋ฐ˜์— ๊ฑธ์ณ ์˜ํ–ฅ๋ ฅ์ด ์•ฝํ•ด์ง€๊ณ  ์žˆ๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ด๋‹ค. ๋‹น์žฅ ๋งค์ถœ์€ ๋†’์ง€๋งŒ ๋ถ„์•ผ๋ณ„๋กœ ๋”ฐ์ ธ๋ณด๋ฉด ๊ฒฝ์Ÿ๋ ฅ์ด ๋–จ์–ด์ง€๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ๋ชจ๋ฐ”์ผ ๋ถ„์•ผ์—์„œ๋Š” ํ€„์ปด, ARM์ด ์‹œ์žฅ์„ ์žฅ์•…ํ•œ ์ง€ ์˜ค๋ž˜๋‹ค. ํ•˜๋ฌผ๋ฉฐ PC ์‹œ์žฅ์—์„œ๋„ AMD๋‚˜ ์—”๋น„๋””์•„์— ๋ฐ€๋ฆฐ๋‹ค. ์• ํ”Œ, ๋งˆ์ดํฌ๋กœ์†Œํ”„ํŠธ(MS), ์•„๋งˆ์กด ๋“ฑ ๋Œ€ํ˜• IT ๊ธฐ์—…์ด ์ง์ ‘ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์„ค๊ณ„์— ๋‚˜์„ฐ๋‹ค๋Š” ์ ๋„ ๋ฌด์‹œํ•  ์ˆ˜ ์—†๋Š” ๋Œ€๋ชฉ์ด๋‹ค. ๋” ์ด์ƒ ๋Œ€ํ˜• IT ๊ธฐ์—…๋“ค์€ ์ธํ…” ์นฉ์„ ์“ฐ์ง€ ์•Š๋Š”๋‹ค. ์• ํ”Œ๋งŒ ํ•ด๋„ ๋งฅ๋ถ์— ํƒ‘์žฌํ•  CPU๋กœ ์ธํ…” CPU..
[21.04.06] ่ปŠ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋Œ€๋ž€์† SKํ•˜์ด๋‹‰์Šค, ๋ณด์‰ฌ์™€ ๊ณต๊ธ‰ ํ˜‘์ƒ ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ 1์œ„ ์ž๋™์ฐจ ๋ถ€ํ’ˆ์—…์ฒด ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ 10๋…„์ด์ƒ ๊ณต๊ธ‰ ํ˜‘์ƒ ๊ณ„์•ฝ์ฒด๊ฒฐ๋• ์ถ”๊ฐ€์ˆ˜์ฃผ ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ ์ž์œจ์ฐจ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ˆ˜์š” ํญ์ฆ SK, ่ปŠ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ ์ „๋‹ดํŒ€ ํ™•๋Œ€ SKํ•˜์ด๋‹‰์Šค๊ฐ€ ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ 1์œ„ ์ž๋™์ฐจ ๋ถ€ํ’ˆ์—…์ฒด์ธ ๋ณด์‰ฌ์™€ ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต๊ธ‰์„ ์œ„ํ•œ ํ˜‘์ƒ์— ๋‚˜์„ฐ๋‹ค. ๊ณ„์•ฝ ์ฒด๊ฒฐ์ด ์„ฑ์‚ฌ๋˜๋ฉด ๋ณด์‰ฌ๋ฅผ ํ†ตํ•ด ์œ ์ˆ˜์˜ ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ ์™„์„ฑ์ฐจ์—…์ฒด์— ์ œํ’ˆ์„ ๊ณต๊ธ‰ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์–ด ํŒŒ๊ธ‰ํšจ๊ณผ๊ฐ€ ํด ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๊ธฐ๋Œ€๋œ๋‹ค. 6์ผ ์—…๊ณ„์— ๋”ฐ๋ฅด๋ฉด SKํ•˜์ด๋‹‰์Šค๋Š” ๋…์ผ์˜ ์ž๋™์ฐจ ๋ถ€ํ’ˆ์—…์ฒด ๋ณด์‰ฌ์™€ ์ฐจ๋Ÿ‰์šฉ ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต๊ธ‰์„ ์œ„ํ•œ ํ˜‘์ƒ์„ ์ง„ํ–‰ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ๊ณ„์•ฝ ์กฐ๊ฑด์œผ๋กœ๋Š” 10๋…„ ์ด์ƒ์˜ ์žฅ๊ธฐ ๊ณต๊ธ‰์„ ๋…ผ์˜ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์•Œ๋ ค์กŒ๋‹ค. ์ด๋ฒˆ ํ˜‘์ƒ์ด ๊ฒฐ์‹ค์„ ๋งบ์œผ๋ฉด SKํ•˜์ด๋‹‰์Šค๊ฐ€ ์ฐจ๋Ÿ‰์šฉ ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋ถ„์•ผ์—์„œ ์ฒด๊ฒฐํ•œ ์ฒซ ์žฅ๊ธฐ๊ณ„์•ฝ์ด ๋œ๋‹ค. ์—…๊ณ„์—์„  ์ž๋™์ฐจ ๋ถ€ํ’ˆ ๋ถ„์•ผ 1์œ„ ์—…์ฒด์ธ ๋ณด์‰ฌ์™€์˜ ๊ณ„์•ฝ์„ ํ†ตํ•ด ์ถ”๊ฐ€ ..
[Etch ๊ณต์ • ์‹ฌํ™” 5] Etch ์žฅ๋น„, ๋ถˆ๋Ÿ‰ ์‚ฌ๋ก€ โ–  Etch ์žฅ์น˜์˜ ๊ตฌ์„ฑ ์š”์†Œ * Pump - Dry Pump (QDP) : ๋จผ์ € ์ ๋‹นํžˆ ์ง„๊ณต (sub Fab) - TMP (Turbo Molecular Pump) : ๊ณ ์ง„๊ณต - Scrubber : ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒ๋œ ์ž”๋ฅ˜ ์œ ํ•ด gas๋ฅผ ๋ฌดํ•ด gas๋กœ ๋ณ€ํ™˜ ๋ฐฐ์ถœํ•˜๋Š” ์žฅ์น˜ * RF Generator * Chiller : ๋ฐœ์ƒ ์—ด ๋ƒ‰๊ฐ์‹œ์ผœ ์‹๊ฐ์˜ ๊ท ์ผ๋„ ๋ฐ Damage ๊ฐ์†Œ ์‹œํ‚ค๋Š” ๊ธฐ๋Šฅ * ESC (Electro Static chuck) : ์ •์ „๊ธฐ์  ํž˜์„ ์ด์šฉํ•˜์—ฌ W/F ์žก์•„์ฃผ๋Š” ์—ญํ•  * Process Chamber * Gas Box : Gas ์œ ๋Ÿ‰ ์กฐ์ ˆ by MFC * Main Controller * ์ง„๊ณต ; ์ผ์ • ๊ณต๊ฐ„๋‚ด์˜ ๋ถ„์ž๋ฅผ ๋Œ€๊ธฐ์•• ์ดํ•˜๋กœ ์ œ๊ฑฐํ•œ ์ƒํƒœ (๋‹ค๋ฅธ ๊ธฐ์ฒด๋“ค์ด ์ œ๊ฑฐ๋œ ๊ณต๊ฐ„) - ๋ถˆ์ˆœ๋ฌผ๊ณผ ๊ธฐ..
[Etch ๊ณต์ • ์‹ฌํ™” 4] Dry Etch โ–  Dry Etch Mechanism - ๋ณดํ†ต ์Œ๊ทน ์ชฝ์— ์›จ์ดํผ๋ฅผ ๋‘”๋‹ค. - ๋ฌผ๋ฆฌ์  ์‹๊ฐ : +์ด์˜จ (Sheath ๋ถ€๋ถ„์—์„œ ๊ฐ€์†๋˜๋ฉด์„œ ์ถฉ๋Œ) => ๋น„๋“ฑ๋ฐฉ์„ฑ(์ด๋ฐฉ์„ฑ) ์‹๊ฐ - ํ™”ํ•™์  ์‹๊ฐ : ๋ผ๋””์นผ (๋ฐ•๋ง‰ ํ‘œ๋ฉด๊ณผ ํ‘œ๋ฉด ๋ฐ˜์‘) => ๋“ฑ๋ฐฉ์„ฑ ์‹๊ฐ => ์ ์ ˆํ•œ ํ˜ผํ•ฉ์„ ํ†ตํ•ด ์‹๊ฐ์˜ ๋ฐฉ์–‘์„ฑ์— ์žˆ์–ด ๋„“์€ ์ˆ˜์ค€์˜ ์ž์œ ๋„(Control์ด ์‰ฌ์›€)๋ฅผ ๊ฐ€์ง. - ๋ฉ”์ปค๋‹ˆ์ฆ˜ ex) SiO2 Etch 1) ์›์ž ๋ฐ ๋ถ„์ž์˜ ์—ฌ๊ธฐ, ํ•ด๋ฆฌ, ์ด์˜จํ™” CHF3 -> H, CF3, e 2) ํก์ฐฉ : ํ•„๋ฆ„ ํ‘œ๋ฉด์—์„œ ํก์ฐฉ 3) ๋ฐ˜์‘ : ํ•„๋ฆ„๊ณผ ์ด์˜จ์— ์˜ํ•œ ํ•ด๋ฆฌ์™€ ๊ฒฐํ•ฉ์œผ๋กœ ๋ฐ˜์‘ ์ƒ์„ฑ๋ฌผ์˜ ํ˜•์„ฑ 4) ํƒˆ์ฐฉ : ๋ฐ˜์‘ ์ƒ์„ฑ๋ฌผ์˜ ํƒˆ์ฐฉ [๊ฑด์‹ ์‹๊ฐ ์›๋ฆฌ] 1) ํ™”ํ•™์  ๊ฒฐํ•ฉ์— ๊ด€์—ฌํ•˜๋Š” ๊ฐ€์Šค๋ฅผ ์ฑ”๋ฒ„์— ์œ ์ž…, ์™ธ๋ถ€ ๊ต๋ฅ˜ RF ์ „์›์œผ๋กœ ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ ๋ฐœ์ƒ ์œ ๋ฐœ 2) ํ”Œ..
[Etch ๊ณต์ • ์‹ฌํ™” 3] ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ ์ข…๋ฅ˜์™€ ์‘์šฉ(Feat.Dry Etch) โ–  ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ ์ข…๋ฅ˜์™€ ์‘์šฉ [ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ ๋ฐœ์ƒ ๋ฐฉ์‹์— ๋”ฐ๋ฅธ ๋ถ„๋ฅ˜] 1) DC ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ : ๋‘ ๊ฐœ์˜ ํ‰ํ–‰ ํŒ ์ „๊ทน ์‚ฌ์ด์—์„œ ์ƒ์„ฑ - Anode์™€ Cathode๊ฐ€ ์žˆ๊ณ  ๊ทธ ์‚ฌ์ด์— ๊ฐ€์Šค๊ฐ€ ์žˆ์–ด์„œ ์–‘ ๊ทน ์‚ฌ์ด์— ๊ฐ€ํ•ด์ง€๋Š” ์ „์••์œผ๋กœ ๋ฐœ์ƒ๋˜๋Š” ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ - Glow Discharge(๋ฐœ๊ด‘ ๋ฐฉ์ „) : ์Œ๊ทน(Cathode) ์ชฝ Sheath์—๋งŒ ๋‚˜ํƒ€๋‚จ. - ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ๊ฐ€ Sheath ์˜์—ญ์—์„œ๋Š” ์ „๊ธฐ์ ์œผ๋กœ ์–‘์„ฑ์ด๋ฏ€๋กœ Cathode๋Š” ์Œ๊ทน์˜ ์—ญํ• . - Sheath Voltage = ์Œ๊ทน ๊ทผ์ฒ˜ ๊ฐ•ํ•œ ์ „์••์œผ๋กœ ์ด์˜จ์ด ๋Œ๋ ค์˜ค๋ฉด์„œ ํญ๊ฒฉ, ์–‘๊ทน ๊ทผ์ฒ˜์—์„œ๋Š” X - Sputtering์ด๋‚˜ Etching ๊ณต์ •์— ์‚ฌ์šฉ - ํ•œ ์ „๊ทน์ด ๋ถ€๋„์ฒด(์‹๊ฐ์žฌ๋ฃŒ, ์ฆ์ฐฉ ๊ธฐํŒ, Sputter Target)์ด๋ฉด ๋ถ€๋„์ฒด ์ „๊ทน์ด Charge-up ๋˜์–ด ๋ฐฉ์ „์ „์••์„ ์ƒ์‡„, ๋ฐฉ..