๋ณธ๋ฌธ ๋ฐ”๋กœ๊ฐ€๊ธฐ

pump

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[Etch ๊ณต์ • ์‹ฌํ™” 5] Etch ์žฅ๋น„, ๋ถˆ๋Ÿ‰ ์‚ฌ๋ก€ โ–  Etch ์žฅ์น˜์˜ ๊ตฌ์„ฑ ์š”์†Œ * Pump - Dry Pump (QDP) : ๋จผ์ € ์ ๋‹นํžˆ ์ง„๊ณต (sub Fab) - TMP (Turbo Molecular Pump) : ๊ณ ์ง„๊ณต - Scrubber : ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒ๋œ ์ž”๋ฅ˜ ์œ ํ•ด gas๋ฅผ ๋ฌดํ•ด gas๋กœ ๋ณ€ํ™˜ ๋ฐฐ์ถœํ•˜๋Š” ์žฅ์น˜ * RF Generator * Chiller : ๋ฐœ์ƒ ์—ด ๋ƒ‰๊ฐ์‹œ์ผœ ์‹๊ฐ์˜ ๊ท ์ผ๋„ ๋ฐ Damage ๊ฐ์†Œ ์‹œํ‚ค๋Š” ๊ธฐ๋Šฅ * ESC (Electro Static chuck) : ์ •์ „๊ธฐ์  ํž˜์„ ์ด์šฉํ•˜์—ฌ W/F ์žก์•„์ฃผ๋Š” ์—ญํ•  * Process Chamber * Gas Box : Gas ์œ ๋Ÿ‰ ์กฐ์ ˆ by MFC * Main Controller * ์ง„๊ณต ; ์ผ์ • ๊ณต๊ฐ„๋‚ด์˜ ๋ถ„์ž๋ฅผ ๋Œ€๊ธฐ์•• ์ดํ•˜๋กœ ์ œ๊ฑฐํ•œ ์ƒํƒœ (๋‹ค๋ฅธ ๊ธฐ์ฒด๋“ค์ด ์ œ๊ฑฐ๋œ ๊ณต๊ฐ„) - ๋ถˆ์ˆœ๋ฌผ๊ณผ ๊ธฐ..

ํ‹ฐ์Šคํ† ๋ฆฌํˆด๋ฐ”