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[Etch ๊ณต์ • ์‹ฌํ™” 3] ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ ์ข…๋ฅ˜์™€ ์‘์šฉ(Feat.Dry Etch) โ–  ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ ์ข…๋ฅ˜์™€ ์‘์šฉ [ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ ๋ฐœ์ƒ ๋ฐฉ์‹์— ๋”ฐ๋ฅธ ๋ถ„๋ฅ˜] 1) DC ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ : ๋‘ ๊ฐœ์˜ ํ‰ํ–‰ ํŒ ์ „๊ทน ์‚ฌ์ด์—์„œ ์ƒ์„ฑ - Anode์™€ Cathode๊ฐ€ ์žˆ๊ณ  ๊ทธ ์‚ฌ์ด์— ๊ฐ€์Šค๊ฐ€ ์žˆ์–ด์„œ ์–‘ ๊ทน ์‚ฌ์ด์— ๊ฐ€ํ•ด์ง€๋Š” ์ „์••์œผ๋กœ ๋ฐœ์ƒ๋˜๋Š” ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ - Glow Discharge(๋ฐœ๊ด‘ ๋ฐฉ์ „) : ์Œ๊ทน(Cathode) ์ชฝ Sheath์—๋งŒ ๋‚˜ํƒ€๋‚จ. - ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ๊ฐ€ Sheath ์˜์—ญ์—์„œ๋Š” ์ „๊ธฐ์ ์œผ๋กœ ์–‘์„ฑ์ด๋ฏ€๋กœ Cathode๋Š” ์Œ๊ทน์˜ ์—ญํ• . - Sheath Voltage = ์Œ๊ทน ๊ทผ์ฒ˜ ๊ฐ•ํ•œ ์ „์••์œผ๋กœ ์ด์˜จ์ด ๋Œ๋ ค์˜ค๋ฉด์„œ ํญ๊ฒฉ, ์–‘๊ทน ๊ทผ์ฒ˜์—์„œ๋Š” X - Sputtering์ด๋‚˜ Etching ๊ณต์ •์— ์‚ฌ์šฉ - ํ•œ ์ „๊ทน์ด ๋ถ€๋„์ฒด(์‹๊ฐ์žฌ๋ฃŒ, ์ฆ์ฐฉ ๊ธฐํŒ, Sputter Target)์ด๋ฉด ๋ถ€๋„์ฒด ์ „๊ทน์ด Charge-up ๋˜์–ด ๋ฐฉ์ „์ „์••์„ ์ƒ์‡„, ๋ฐฉ..

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