๋ณธ๋ฌธ ๋ฐ”๋กœ๊ฐ€๊ธฐ

๋ถ„๋ฅ˜ ์ „์ฒด๋ณด๊ธฐ

(64)
[21.02.24] ์ฐจ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋ถ€์กฑ์— ํ˜„๋Œ€์ฐจ๋งˆ์ €…์ด๋Œ€๋กœ๋ฉด ํ•œ๋‹ฌ ๋‚ด ์žฌ๊ณ  ๋™๋‚˜ ์ „์„ธ๊ณ„ ่ปŠ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋ถ€์กฑ ์‹ฌํ™” '3์›” ์œ„๊ธฐ์„ค'ํ˜„์‹คํ™” ์šฐ๋ ค ํ™•์‚ฐ ๊ฐ์‚ฐ๋• ํ˜‘๋ ฅ์‚ฌ๋„ ํƒ€๊ฒฉ ๋ถˆ๊ฐ€ํ”ผ ํ˜„๋Œ€์ฐจ "๊ณต๊ธ‰ ์›ํ™œํ•˜์ง€ ์•Š์•„ ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ ๋ถ€ํ’ˆ์‚ฌ์™€ ํ˜‘์ƒ ์ฃผ๋ ฅ" ์ƒ์‚ฐ๊ณ„ํš ์ ๊ฒ€ ์ฃผ๋‹จ์œ„๋กœ ์ „ํ™˜ ์ฐจ๋Ÿ‰์šฉ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋ถ€์กฑ์œผ๋กœ ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ ์™„์„ฑ์ฐจ ์ œ์กฐ์‚ฌ๋“ค์ด ๊ณต์žฅ ์…ง๋‹ค์šด ๋“ฑ ์ž‡๋‹จ ๊ฐ์‚ฐ์— ๋Œ์ž…ํ•œ ๊ฐ€์šด๋ฐ ํ˜„์žฌ ๊ณต์žฅ์„ ์ •์ƒ์ ์œผ๋กœ ๊ฐ€๋™ ์ค‘์ธ ํ˜„๋Œ€์ž๋™์ฐจ์™€ ๊ธฐ์•„๋„ ์กฐ๋งŒ๊ฐ„ ์˜ํ–ฅ์„ ๋ฐ›์„ ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค๋Š” ๊ฒฝ๊ณ ์Œ์ด ๋‚˜์˜ค๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ๊ทธ๋™์•ˆ ํ™•๋ณดํ–ˆ๋˜ ์žฌ๊ณ ๊ฐ€ ๋น ๋ฅด๊ฒŒ ์†Œ์ง„๋˜๋ฉด์„œ ํ˜„๋Œ€์ฐจ·๊ธฐ์•„๋งˆ์ € ๊ฐ์‚ฐ์— ๋‚˜์„œ๋Š” ๊ฒƒ ์•„๋‹ˆ๋ƒ๋Š” ๋ถˆ์•ˆ๊ฐ์ด ํ™•๋Œ€๋˜๊ณ  ์žˆ๋Š” ์ƒํ™ฉ์ด๋‹ค. ํ˜„๋Œ€์ฐจ์™€ ๊ธฐ์•„๋Š” ์ผ์ฃผ์ผ ๋‹จ์œ„๋กœ ์ƒ์‚ฐ๋Ÿ‰ ์กฐ์ •์„ ๊ฒ€ํ† ํ•˜๊ธฐ๋กœ ํ•˜๋Š” ๋“ฑ ๋น„์ƒ๊ฒฝ์˜ ์ฒด์ œ์— ๋Œ์ž…ํ–ˆ๋‹ค. 23์ผ ์ž๋™์ฐจ ์—…๊ณ„์— ๋”ฐ๋ฅด๋ฉด ํ•œ๊ตญGM์ด ์ง€๋‚œ 8์ผ๋ถ€ํ„ฐ ์ธ์ฒœ ๋ถ€ํ‰2๊ณต์žฅ ์ƒ์‚ฐ๋Ÿ‰์„ ์ ˆ๋ฐ˜ ์ดํ•˜๋กœ ์ค„์ธ ๊ฐ€์šด๋ฐ ํ˜„๋Œ€์ฐจ์™€ ๊ธฐ์•„๋„ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋ถ€ํ’ˆ..
[๋ฐ์ดํ„ฐ ๊ด€๋ จ ๊ธฐ์‚ฌ] "AI ๋ถ„์„ ์–ด๋–ป๊ฒŒ ๋ฏฟ๋ƒ๊ณ  ๋ฌผ์œผ๋ฉด? ๊ธฐ์—…๋“ค์ด ๊ฒฐ๊ณผ ์„ค๋ช…ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์–ด์•ผ" ์„ธ์Šค ๋„๋ธŒ๋ฆฐ IBM ๋ถ€์‚ฌ์žฅ "๊ธฐ์—…์ด '์‹ ๋ขฐํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์ธ๊ณต์ง€๋Šฅ(Trusted AI)'์„ ์šด์šฉํ•˜๋ ค๋ฉด ์–ด๋–ป๊ฒŒ ํ•ด์•ผ ํ• ๊นŒ์š”? " => AI์— ํŽธ๊ฒฌ์ด ์žˆ์ง€ ์•Š์€์ง€, ๋ฌด์—‡์„ ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋Š”์ง€ ์ดํ•ดํ•˜๊ณ  ์–ด๋–ป๊ฒŒ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋„์ถœํ•˜๋Š”์ง€๊นŒ์ง€ ์ง€์†์ ์ธ ๋ชจ๋‹ˆํ„ฐ๋ง์ด ํ•„์š”" ๋„๋ธŒ๋ฆฐ ๋ถ€์‚ฌ์žฅ์€ "์‹ ๋ขฐํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” AI๋ž€ 'ํˆฌ๋ช…ํ•˜๊ฒŒ ๊ฒ€์ฆํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋А๋ƒ' ํ•˜๋Š” ์˜๋ฏธ"๋ผ๋ฉฐ "๊ธฐ์—…๋“ค์ด AI ๋ชจ๋ธ์„ ์•Œ๊ณ (know), ์‹ ๋ขฐํ•˜๊ณ (trust), ์‚ฌ์šฉ(use)ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์–ด์•ผ ํ•œ๋‹ค"๊ณ  ๋งํ–ˆ๋‹ค. AI๊ฐ€ ๊ฒฐ๊ณผ ๋„์ถœ์— ์–ด๋–ค ๋ฐ์ดํ„ฐ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ–ˆ๋Š”์ง€ ์ถ”์ ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๊ณ  ๋ณ€ํ™”๋ฅผ ๋ฌธ์„œ๋กœ ๊ด€๋ฆฌํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์–ด์•ผ AI ๋ชจ๋ธ์„ ์ œ๋Œ€๋กœ ์•„๋Š” ๊ฒƒ์ด๊ณ , AI ๋ชจ๋ธ์„ ๊ฒ€์ฆํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•œ ๊ทœ์น™๋“ค์„ ์ž๋™ํ™”๋œ ๋ฐฉ์‹์œผ๋กœ ์ง‘ํ–‰ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์–ด์•ผ ์‹ ๋ขฐ์„ฑ..
[Photo ๊ณต์ • ์‹ฌํ™”1] 1. Photo ๊ณต์ •์˜ ๊ฐœ์š” 2. Track ๊ตฌ์„ฑ/ํ‘œ๋ฉด ์ฒ˜๋ฆฌ/PR Spin Coating 3. Soft bake/Alignment/Exposure 4. PEB/Development/Hard bake/ADI ๊ฒ€์‚ฌ 5. Resolution๊ณผ DOF/NA/๊ด‘์›๊ณผ ํŒŒ์žฅ 6. Resolution ํ–ฅ์ƒ ๋ฐฉ์•ˆ ๋ฐ EUV/DPT/Q PT 7. PSM/OPC 8. Photo ํ˜„์žฅ ์‹ค๋ฌด 9. Photo ๋ถˆ๋Ÿ‰ ์‚ฌ๋ก€ (1) (2) โ—† CMOS Vertial Profile - N+, P+ : ๊ณ ๋†๋„ (E15๊ฐœ/cm2) ๋ถˆ์ˆœ๋ฌผ ์ฃผ์ž…๋œ ์ „์ž, ์ •๊ณต - N-, P- : ์ €๋†๋„ (E13๊ฐœ/cm2) ์ˆ˜์ค€ ๋ถˆ์ˆœ๋ฌผ ์ฃผ์ž… - Al-Cu : 99% Al์— 0.5%๊ฐ€๋Ÿ‰ CU ํ•ฉ๊ธˆ => ์™œ? Electro migration ์˜ˆ๋ฐฉํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด Cu [..
[21.02.21] D๋žจ๊ฐ’ '์‚ฌ๋”ธ๋ผ์‹œ๋Œ€' ๋•์—…ํ•˜์ด๋‹‰์Šค ์‹œ์ด 100์กฐ ์ฐ์—ˆ๋‹ค ์ง€๋‚œ๋‹ฌ 8์ผ ์ดํ›„ ์žฅ์ค‘ ์žฌ๋ŒํŒŒ ์ด๋‹ฌ 11% ์˜ฌ๋ผ 14๋งŒ์› ์œก๋ฐ• D๋žจํ˜„๋ฌผ, 22๊ฐœ์›”๋งŒ์— 4๋‹ฌ๋Ÿฌ "์‚ผ์ „๋ณด๋‹ค ํ•˜์ด๋‹‰์Šค๊ฐ€ ์ˆ˜ํ˜œ" ๋‚ธ๋“œ๋„ ํ„ด์–ด๋ผ์šด๋“œ ๊ธฐ๋Œ€๊ฐ ์˜ฌ ์˜์—…์ต 99% ์ฆ๊ฐ€ ์ „๋ง SKํ•˜์ด๋‹‰์Šค๊ฐ€ D๋žจ(DRAM) ๊ฐ€๊ฒฉ ์ƒ์Šน์œผ๋กœ ์ธํ•œ ์—…ํ™ฉ ํšŒ๋ณต ๊ธฐ๋Œ€ ์†์— ์ด๋‹ฌ ๋“ค์–ด ์ฃผ๊ฐ€๊ฐ€ 11%๊ฐ€๋Ÿ‰ ์˜ค๋ฅด๋ฉฐ ์‹œ๊ฐ€์ด์•ก 100์กฐ์› ๊ณ ์ง€ ํƒˆํ™˜์„ ์•ž๋‘๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ๊ธˆ์œตํˆฌ์ž์—…๊ณ„๋Š” '๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ ๋ฐ˜๋„์ฒด 2์ฐจ ์Šˆํผ์‚ฌ์ดํด'์ด ์ง„ํ–‰๋˜๋ฉด์„œ SKํ•˜์ด๋‹‰์Šค ์‹ค์ ์ด ๊ณ ๊ณตํ–‰์ง„์„ ์ด์–ด๊ฐˆ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์ „๋งํ•˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. 22์ผ SKํ•˜์ด๋‹‰์Šค ์ฃผ๊ฐ€๋Š” ์ „ ๊ฑฐ๋ž˜์ผ(2์›” 19์ผ)์— ๋น„ํ•ด 2.63% ์˜ค๋ฅธ 13๋งŒ6500์›์— ๋งˆ๊ฐํ–ˆ๋‹ค. ์ด๋‹ฌ ๋“ค์–ด 11.43% ์˜ฌ๋ž๊ณ  22์ผ ์žฅ์ค‘ ํ•œ๋•Œ ์‹œ์ด 100์กฐ์›์„ ๋„˜์–ด์„ฐ๋‹ค. SKํ•˜์ด๋‹‰์Šค ์‹œ์ด์ด 100์กฐ์›์„ ๋„˜์–ด์„  ์ง€๋‚œ๋‹ฌ 8์ผ ์ดํ›„ ์ฒ˜์Œ์ด๋‹ค. ์•ž์œผ๋กœ ์ฃผ๊ฐ€๊ฐ€..
[7์ผ์ฐจ] Part 3. ๋ฐ˜๋„์ฒด ์†Œ์ž (DRAM, NAND Flash) ๋ณดํ˜ธ๋˜์–ด ์žˆ๋Š” ๊ธ€์ž…๋‹ˆ๋‹ค.
[6์ผ์ฐจ] Part 2. ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์ • (์‚ฐํ™”/ํ™•์‚ฐ/์ด์˜จ์ฃผ์ž… ๊ณต์ •) ์‚ฐํ™”/ํ™•์‚ฐ ๊ณต์ • 1. ์‚ฐํ™”๊ณต์ • - ์‚ฐํ™”๋ง‰ ํ˜•์„ฑ ๋ฐฉ๋ฒ• ๋ฐ ์‚ฌ์šฉ ์ด์œ  - ์—ด ์‚ฐํ™”๋ง‰ ์„ฑ์žฅ ์›๋ฆฌ(Deal-Grove ๋ชจ๋ธ) - ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜-์—ด ์‚ฐํ™”๋ง‰ ์ „ํ•˜ 2. ํ™•์‚ฐ ๊ณต์ • (ํ˜„์žฌ์‚ฌ์šฉ X -> Ion Implanatation) - ํ™•์‚ฐ ๊ฐœ๋… - ํ™•์‚ฐ ๊ณต์ • ๋ฐฉ๋ฒ• ๋ฐ ์›๋ฆฌ 1. ์‚ฐํ™”๊ณต์ • 1) ์‚ฐํ™”๋ง‰ ํ˜•์„ฑ ๋ฐฉ๋ฒ• ๋ฐ ์‚ฌ์šฉ ์ด์œ  ์ €์˜จ : ์ฆ์ฐฉํ•œ๋‹ค! ๊ณ ์˜จ : ์„ฑ์žฅํ•œ๋‹ค! => ์—ด ์‚ฐํ™”๋ง‰ โ—† ์—ด ์‚ฐํ™”๋ง‰ ์„ฑ์žฅ ๋ฐฉ๋ฒ• ๊ฑด์‹, ์Šต์‹ ์‹๊ฐ์ด ์žˆ์Œ. ์„ฑ์žฅ ์†๋„๋Š” ์Šต์‹ ์‚ฐํ™”๊ฐ€ ๋น ๋ฅด๋‹ค.(5๋ฐฐ~10๋ฐฐ) => SiO2 ๋‚ด ์šฉํ•ด๋„๊ฐ€ H2O > O2 - ์ „๊ธฐ์  ํŠน์„ฑ์€ ๊ฑด์‹์ด ์šฐ์ˆ˜ (๋А๋ฆฌ๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ๋ง‰์งˆ์ด ์น˜๋ฐ€ํ•˜๋‹ค & ๋ฐœ์ƒ๋œ ์ˆ˜์†Œ์— ์˜ํ•ด SiO2๋‚ด์— ๋“ค์–ด๊ฐ€ ์žˆ์„ ์ˆ˜ ์žˆ์Œ) => Gate oxide์— ์‚ฌ์šฉ - ์—ด ์‚ฐํ™”๋ง‰ ์„ฑ์žฅ ์›๋ฆฌ(Deal-Grove - ์‚ฐ..
[5์ผ์ฐจ] Part 2. ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์ • (๊ธˆ์†๋ฐฐ์„ /CMP/Cleaning ๊ณต์ •) ๊ธˆ์†๋ฐฐ์„  ๊ณต์ • 1. ๊ธˆ์† ๋ฐฐ์„  ๊ณต์ •์˜ ์ •์˜ 2. ๊ธฐ์กด ๋ฐฐ์„  Al ๊ณต์ •์˜ ํ•œ๊ณ„ 3. ๊ตฌ๋ฆฌ Cu ๋ฐฐ์„  ๊ณต์ • 1. ๊ธˆ์† ๋ฐฐ์„  ๊ณต์ •์˜ ์ •์˜ 1) ๊ธˆ์† ๋ฐฐ์„  ๊ณต์ • ์ •์˜ ๋ฐ˜๋„์ฒด ํšŒ๋กœ ๋‚ด ์†Œ์ž ๊ฐ„์˜ ์‹ ํ˜ธ ์ „๋‹ฌ ๋ฐ ์ „๋ ฅ ๊ณต๊ธ‰์„ ์œ„ํ•ด ์ € ์ €ํ•ญ์˜ ๊ธˆ์†์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ์†Œ์ž ๋ฐ ํ•˜๋ถ€ ๋ฐฐ์„ ๋“ค์„ ์„œ๋กœ ์—ฐ๊ฒฐํ•˜๊ณ  ์ „๊ธฐ์ ์œผ๋กœ ๊ฒฉ๋ฆฌ๋˜์–ด์•ผ ํ•  ๋ถ€๋ถ„์€ ์ ˆ์—ฐ์ฒด๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ์ ˆ์—ฐ์‹œํ‚ค๋Š” ๊ณต์ • * ํ•˜๋ถ€์ชฝ ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜๊ณผ ์—ด๊ฒฐ๋œ hole = Contact, ๊ธˆ์† ๊ฐ„ ์—ฐ๊ฒฐ = Via * ์ ˆ์—ฐ์ฒด : ILD (Inter Layer Dielectric), IMD (Inter Metal Dielectric) 2. ๊ธฐ์กด ๋ฐฐ์„  Al ๊ณต์ •์˜ ํ•œ๊ณ„ 1) ๋ฌด์–ด์˜ ๋ฒ•์น™ -> ๋ฐ˜๋„์ฒด ์นฉ ๋ฏธ์„ธํ™” ์ง„ํ–‰ -> ์ €ํ•ญ ๋ฐ ์ •์ „ ์šฉ๋Ÿ‰ ์ฆ๊ฐ€ - ์ €ํ•ญ R = ๋น„์ €ํ•ญρ ๊ณผ ๋„์ฒด ๊ธธ์ด L ์— ๋น„๋ก€ ..
[4์ผ์ฐจ] Part 2. ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์ • (๋ฐ•๋ง‰ ๊ณต์ •) ๋ฐ•๋ง‰์ฆ์ฐฉ ๊ณต์ • 1. ๋ฐ•๋ง‰ ์ฆ์ฐฉ ๊ณต์ • ๊ฐœ์š” 2. CVD 3. ALD 4. PVD 1. ๋ฐ•๋ง‰ ์ฆ์ฐฉ ๊ณต์ • ๊ฐœ์š” 1) ๋ฐ•๋ง‰ ์ฆ์ฐฉ ๊ณต์ • ์ •์˜ ๋ฐ ๋ถ„๋ฅ˜ - ๋ฐ•๋ง‰์€ ํ†ต์ƒ ๋‘๊ป˜ 1ใŽ› ์ดํ•˜์˜ ๋ง‰ - ์›์ž ๋‹จ์œ„(Å)๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— Thin film! ๋ฐ•๋ง‰ ์ฆ์ฐฉ ๊ณต์ •์€ ์ฆ์ฐฉ๋˜๋Š” ๋ฌผ์งˆ์˜ ์ƒํƒœ์— ๋”ฐ๋ผ ๊ธฐ์ƒ, ์•ก์ฒด ์ƒํƒœ๋กœ ๋‚˜๋ˆŒ ์ˆ˜ ์žˆ์Œ. ๊ธฐ์ƒ์ƒํƒœ๋Š” PVD, CVD๊ฐ€ ์žˆ๊ณ , PVD์—๋Š” ์Šคํผํ„ฐ๋ง์ด ์ฃผ๋กœ ์“ฐ์ž„. CVD๋Š” ์ƒ์••, ์ €์••, ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ๊ฐ•ํ™”, ๊ธˆ์†์œ ๊ธฐ๋ฌผ(๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด), ์›์ž์ธต ์ฆ์ฐฉ์ด ์žˆ์Œ. ์•ก์ฒด์ƒํƒœ๋Š” ๋„๊ธˆ(๊ธˆ์†๋ฐฐ์„ ๊ณต์ •) - ๋ฌด์ „ํ•ด, ์ „ํ•ด / ์กธ, ๊ฒ” - ํšŒ์ „๋„ํฌ, ์นจ์•ก, ๋ถ„์‚ฌ (๊ฑฐ์˜ X) 2) ๋ฐ•๋ง‰ ๊ณต์ • ์ฃผ์š” ๋ณ€์ˆ˜ โ‘  ์ข…ํšก๋น„ Aspect Ratio (hight/width) - High Aspect Ratio(HAR) -> ํ”ผ๋ณต(Step..