12์ธ์น (1) ์ธ๋ค์ผํ ๋ฆฌ์คํธํ [21.03.24] ๋ฐ๋์ฒด ์๋ถ์ฅ ์ ๊ณ "12์ธ์น ๋ฐ๋์ฒด ํ ์คํธ๋ฒ ๋์ ๊ฒ์ฌ ์ฅ๋น ์ ์ค" ๋ฐ๋์ฒด ์๋ถ์ฅ ์ ๊ณ "12์ธ์น ๋ฐ๋์ฒด ํ ์คํธ๋ฒ ๋์ ๊ฒ์ฌ ์ฅ๋น ์ ์ค" ๋๋ ธ์ข ํฉ๊ธฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌ์๋ค์ด ASML ArF ์ด๋จธ์ ๋ ธ๊ด์ฅ๋น ์์์ 40nm ํจํด ์จ์ดํผ๋ฅผ ๋ค์ด๋ณด์ด๊ณ ์๋ค. ์ต๊ทผ ๋์ ๋๋ ธ์ข ํฉ๊ธฐ์ ์์ ์๋กญ๊ฒ ๋ฌธ์ ์ฐ 12์ธ์น ์จ์ดํผ ๋ฐ๋์ฒด ํ ์คํธ๋ฒ ๋์ ๊ฒ์ฌ ์ฅ๋น๊ฐ ๋ฐ๋์ ๊ฐ์ถฐ์ ธ์ผ ํ๋ค๋ ๋ชฉ์๋ฆฌ๊ฐ ๋์จ๋ค. ๋ฐ๋์ฒด ์์ฌ·๋ถํ·์ฅ๋น(์๋ถ์ฅ) ์ ์ฒด๋ค์ด ๋ค์ํ ์์ฌ๋ฅผ ๊ตญ์ฐํํ๊ธฐ ์ํด ์ ๋ถ์ ๊ณผ๊ฐํ ํฌ์๊ฐ ํ์ํ๋ค๋ ๋ถ์์ด๋ค. 23์ผ ์ ๊ณ์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด ์ต๊ทผ ์๋น์ค๋ฅผ ์์ํ ๋๋ ธ์ข ๊ธฐ์์ 12์ธ์น ์จ์ดํผ์ฉ ๋ฐ๋์ฒด ํ ์คํธ๋ฒ ๋์๋ ๊ฒ์ฌ ์ฅ๋น๊ฐ ์ค์น๋ผ ์์ง ์๋ค. ๋๋ ธ์ข ๊ธฐ์ ํ ์คํธ๋ฒ ๋๋ ์ง๋ 2019๋ ์ผ๋ณธ ์์ถ ๊ท์ ์ฌํ ์ดํ ๊ตญ๋ด ์ฒ์์ผ๋ก ์ค๋ฆฝ๋ 12์ธ์น ์จ์ดํผ์ฉ ์ค๋น๋ค. ์ผ๋ณธ ์ ๋ถ์ ์์ถ๊ท์ ๋ก ์ด์ ํ ๊ตญ๋ด ์๋ถ์ฅ ์ฐ๊ตฌ๊ฐ๋ฐ.. ์ด์ 1 ๋ค์