๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ด
1. ๋ฐ๋์ฒด ์ ์
1) ์ ๊ธฐ ์ ๋๋์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ์
- ๋์ฒด
- ๋ถ๋์ฒด
- ๋ฐ๋์ฒด : ์ ๋ฅ๊ฐ ์ ํ๋ฅด๋ ์ ๋๊ฐ ๋์ฒด์ ๋ถ๋์ฒด์ ์ค๊ฐ ์ ๋์ธ ๋ฌผ์ง
* ๋น์ ํญ(Resistivity): ๋ฌผ์ง์ด ์ ๋ฅ์ ํ๋ฆ์ ์ผ๋ง๋ ์ธ๊ฒ ๋ง์๋์ง๋ฅผ ์ธก์ ํ ๋ฌผ๋ฆฌ๋, ๋ฌผ์ง์ ๋ฐ๋ผ ๊ณ ์ ํ ๊ฐ
2) ์ธ๋ถ์์ ์์ํ ๋ฐ๋์ฒด์ ๋ถ์๋ฌผ์ ์ฃผ์ โ
* ๋ถ์๋ฌผ: (๋ํ)ํ์ฌ ๋ฐ๋์ฒด์ ์ ๊ธฐ ์ ๋๋๋ฅผ ์ํ๋ ๋๋ก ์กฐ์ ํ ์ ์๋ ๋ฌผ์ง
2. ์ ํ (Charge)
- ์์ฑ ๋๋ ์์ฑ ๊ทน์ฑ์ ๋ ๋ ์ ์ [C, ์ฟจ๋กฑ]
- ๋จ์ ์๊ฐ ๋น ์ด๋ํ ์ ํ๋(C/sec) = ์ ๋ฅ [A]
3. ์บ๋ฆฌ์ด (Carrier)
- ์บ๋ฆฌ์ด๋ ๋ฐ๋์ฒด ๋ด์์ ์ ํ๋ฅผ ์ด๋์์ผ ์ ๋ฅ๋ฅผ ๋ฐ์์ํค๋ ์ ํ ์ด์ก์.
- ์ ์์ ์ ๊ณต์ผ๋ก ๊ตฌ์ฑ. ์ ์๊ฐ ์ด๋ํ๊ณ ๋จ์ ์๋ฆฌ๋ฅผ ์ ๊ณต์ด๋ผ๊ณ ํจ.
4. ์ ์ ์ฉ๋ (Capacitor)
- ์ ๊ธฐ๊ฐ ํตํ๋ ๋์ฒด ์ ๊ทน ์ฌ์ด์ ์ ์ฐ์ฒด(์ ์ ์ฒด)๊ฐ ์กด์ฌํ๋ ๊ตฌ์กฐ
- ์ธ๋ถ ์ ์ ์ธ๊ฐ ์ ๊ฐ์ ์, ๋ฐ๋ ๊ทน์ฑ์ ์ ํ๊ฐ ์ ๊ทน์ ๋ชจ์.
- ์ ํ๊ฐ์ ์ธ๋ ฅ์ผ๋ก ์ธ๋ถ ์ ์ ์์ด๋ ์ผ์ ์๊ฐ ์ ํ ๋ณด์กด -> ์ถฉ์
5. Si, ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ํน์ฑ
1) ์ค๋ฆฌ์ฝ ์ฌ์ฉ ์ด์
- ์์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์ป๊ธฐ ์ฝ๊ณ ๊ฐ๊ฒฉ์ด ์ธ๋ค.
- ์ฐํ๋ง ํน์ฑ์ด ์ข๋ค.
- ๋ น๋์ ์ด ๋๋ค. 1414๋
- ๊ณ ์๋์ ๋ถ์๋ฌผ ์ ์ ๊ธฐ์ ๋ฐ๋ฌ
2) Si ํน์ฑ
- 4์กฑ, ์์๊ฐ ๊ฒฐํฉ ๊ณต์ ๊ฒฐํฉ
- 0K ์ด์์์ ์ ์-์ ๊ณต ์ (EHP) ์์ฑ
6. ๋ฐ๋์ฒด ์ข ๋ฅ
1) Nํ ๋ฐ๋์ฒด
- 5์กฑ ์์ (์ธP, ๋น์As)๋ฅผ ๋ถ์๋ฌผ๋ก ์ฃผ์
- ๊ณ ๋๋ n+, ์ ๋๋ n-
- ๋ค์ ์บ๋ฆฌ์ด : ์ ์ / ์์ ์บ๋ฆฌ์ด : ์ ๊ณต
2) Pํ ๋ฐ๋์ฒด
- 3์กฑ ์์(๋ถ์B)๋ฅผ ๋ถ์๋ฌผ๋ก ์ฃผ์
๋ฐ๋์ฒด ์์
1. PN ์ ํฉ ๋ค์ด์ค๋
- Pํ ๋ฐ๋์ฒด์ Nํ ๋ฐ๋์ฒด๋ฅผ ์๋ก ์ ํฉํ ๊ตฌ์กฐ
- Pํ +/ Nํ - [์๋ฐฉํฅ ์ ์] : ์ ์์ ์ ๊ณต์ด ์ ํฉ๋ฉด์ ๊ฐ๋ก์ง๋ฌ ์ด๋ -> ์ ๋ฅ ํ๋ฆ
- Pํ - / Nํ + [์ญ๋ฐฉํฅ ์ ์] : ์ ์์ ์ ๊ณต์ด ์ ํฉ๋ฉด ๋ฐ๋๋ก ์ด๋ -> ์ ๋ฅ ํ๋ฅด์งX
- ์ ์-์ ๋ฅ ํน์ฑ : ํ์ชฝ ๋ฐฉํฅ์ผ๋ก๋ง ์ ๋ฅ ํ๋ฆ.
2. MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)
- ์ ๊ณ ํจ๊ณผ = ์ ์ ์ฉ๋์ ์๋ฆฌ (Capacitor)
[๋์ ์๋ฆฌ]
- ๊ฒ์ดํธ (+) ์ ์ ์ธ๊ฐ -> P ๊ธฐํ์ ์ ๊ณต์ด ๋ฐ๋ ค๋๊ณ ์ ์๊ฐ ํ๋ฉด์ ๋ชจ์.
-> Pํ์ด Nํ์ผ๋ก ๋ฐ์ -> ๋ฐ์ ์ธต(์ฑ๋)
- ์ฑ๋ ํ์ฑ -> ์ ์๋ Source์์ Drain, ์ ๋ฅ๋ Drain์์ Source
- ์ฑ๋ ํ์ฑ๋ ๋์ ๊ฒ์ดํธ ์ ์ : ๋ฌธํฑ ์ ์ Vth ์ค์์น ์ญํ
๋ฐ๋์ฒด ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ
1. DRAM (Dynamic Random Access Memory)
1) ๊ตฌ์กฐ
- DRAM Cell : 1T + 1C(์ ์ ์ฉ๋)
- ์ ์ ์ฉ๋์ data ์ ์ฅ
- ์ ์ ๋ฐ ๋ฆฌํ๋ ์(Refresh)์์กด : ํ๋ฐ์ฑ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ์์
2) ๋์
- ์ฐ๊ธฐ(Write) : WL->ON, ์ธ๋ถ BL-> ๋ฐ์ดํฐ SN์ ์ ์ฅ
- ์ฝ๊ธฐ(Read) : WL->ON, SN ์ ํ-> BL ์ ์ ๋ณํ ๊ฐ์ง
- ๋์ค ์ ๋ฅ -> ์ฃผ๊ธฐ์ ๋ค์ ์ฐ๊ธฐ -> ๋ฆฌํ๋ ์(์ ๋ ฅ์๋ชจ!!)
2. ๋ธ๋ ํ๋์ NAND Flash
1) ๊ตฌ์กฐ
- Control Gate (CG) : ์ ์ ์ ํํ๋ ์๋ ๋ผ์ธ
- Floating Gate (FG) : ๋ฐ์ดํฐ(์ ์)๋ฅผ ์ ์ฅ
- Tunnel Oxide (Tox) : ๊ณ ์ ๊ณ์์๋ ์ ์ ํต๊ณผ/ ์ ์ ๊ณ์์๋ ์ ์ ์ดํ ๋ฐฉ์ง
- ์ธต๊ฐ ์ ์ฐ๋ง (IPD) : FG๋ด ์ ์ -> CG๋ก ์ดํ ๋ฐฉ์ง (ONO)
=> ํ์ฌ๋ CTD (Charge Trap Device) : Floating Gate๊ฐ ์๋ Nitride์ Charge๋ฅผ ์ ์ฅ
2) ๋์
- ์ฐ๊ธฐ ๋์(๋น ํ๋ฐ์ฑ)
ํ๋ก๊ทธ๋๋ฐ(Program) : WL์ ๊ณ ์ ์, ๊ธฐํ์ ์ ์๊ฐ FG๋ก ์ด๋/์ ์ฅ
์๊ฑฐ(Erase) : ๊ธฐํ์ ๊ณ ์ ์, FG ์ ์๊ฐ ๊ธฐํ์ผ๋ก ์ด๋ ๋ฐ ์๊ฑฐ
- ์ฝ๊ธฐ ๋์
FG ์ ์ ์ ๋ฌด์ ๋ค๋ฅธ Vth ๋ฌธํฑ ์ ์ ๋ณ๋ ๊ฐ์ง!
1. SRAM
- CPU๊ฐ ๋น๋ฒํ๊ฒ ์ฌ์ฉ๋๋ ๋ฐ์ดํฐ ์ ์ฅ (์บ์๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ)
- ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ์ค ๊ฐ์ฅ ๋น ๋ฆ
- Cell ๋ฉด์ ์ด ํผ -> ๋ฎ์ ์ฉ๋ -> ๋์ ๋จ๊ฐ
- ํ๋ฐ์ฑ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ
2. DRAM
- ์ปดํจํฐ์ ์ฃผ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ์ญํ
- ์๋, ์ฉ๋, ๊ฐ๊ฒฉ : SRAM๊ณผ NAND ์ฌ์ด ์์น
- ํ๋ฐ์ฑ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ
3. NAND Flash
- ์คํ ๋ฆฌ์ง ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ์ญํ (SSD, USB)
- Cell ๋ฉด์ ์ด ์์ -> ๊ณ ์ฉ๋ -> ๋ฎ์ ๋จ๊ฐ
- ์๋ ๋๋ฆผ.
- ๋น ํ๋ฐ์ฑ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ
4. ํด๋ผ์ฐ๋ ์คํ ๋ฆฌ์ง
- ์ธํฐ๋ท ๊ธฐ๋ฐ
- ์๋ ๋๋ฆฌ๊ณ ๋ณด์ ์ทจ์ฝ
- ๋น ํ๋ฐ์ฑ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ
'๋ฐ๋์ฒด ๊ณต๋ถ' ์นดํ ๊ณ ๋ฆฌ์ ๋ค๋ฅธ ๊ธ
[3์ผ์ฐจ] Part 2. ๋ฐ๋์ฒด ๊ณต์ (์๊ฐ๊ณต์ Feat. ํ๋ผ์ฆ๋ง) (0) | 2021.02.19 |
---|---|
[2์ผ์ฐจ] Part 2. ๋ฐ๋์ฒด ๊ณต์ (ํฌํ ๊ณต์ ) (0) | 2021.02.17 |
[๋ฐ๋์ฒด๊ณต์ ] 03. ์ฐํ(Oxidation) ๊ณต์ (0) | 2021.02.15 |
[๋ฐ๋์ฒด๊ณต์ ] 02. ์๊ฐ(Etch) ๊ณต์ (0) | 2021.02.09 |
[๋ฐ๋์ฒด ๊ณต์ ] 01. Overview (0) | 2021.02.07 |